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半導體設備

光罩及晶舟盒清洗機(迴轉式)
JY-9033

光罩及晶舟盒清洗機(迴轉式)

1.      每次可擺放4個清洗籃清洗

2.      清洗籃可依需求設計適用FOSB,FOUP,光罩盒等,可快速更換清洗不同產品

3.      機體結構為全不鏽鋼

4.      紅外線烘烤溫度可調範圍:室溫-80C,乾燥效率高

5.      旋轉速度可調範圍:5-250(rpm),可設正逆轉

6.      水柱強弱可調整

7.      雙門開關(單一面操作)

8.      噴水柱內外可選擇獨立動作(內側9個噴嘴,外側10個噴嘴,底部5個噴嘴)

9.      管路可耐溫60C

10.    安全偵測含漏水,水壓過低及水流量SENSER,異常震動等

11.    自動定位停止功能

12.    隔膜幫浦為日製SMC無汙染

13.    適用CLASS1潔淨等級

14.    可以需求選配專用高效純水加熱器